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埃登威自動化系統設備（上海）有限公司

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日本AMAYA天谷制作所高生產率常壓CVD 8英寸AMAX800V圖片

2025-03-12 07:53:4139

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高生產率常壓CVD系統，實現**的連續運行AMAX800V8英寸高吞吐量，每小時100張使用SiC托盤的重金屬污染對策和長期穩定的工藝提高可維護性特征通過改進運輸機制實現了高吞吐量。SiH4、PH3、B2H6和O2從AMAX型分散頭分散

圖片來源：

http://www.whtxwd.com/chanpin/7294482.html

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