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北京慧龍環科環境儀器有限公司
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五靶頭等離子射頻磁控濺射儀更新時間:2020-01-08產品型號:VTC-5RF廠商性質:代理商產品品牌:合肥科晶產品廠地:國外訪問次數:210VTC-5RF五靶頭等離子射頻磁控濺射儀是一款5靶頭的等離子射頻磁控濺射儀,針對于高通量MGI(材料基因組計劃)薄膜的研究
VTC-5RF五靶頭等離子射頻磁控濺射儀是一款5靶頭的等離子射頻磁控濺射儀,針對于高通量MGI(材料基因組計劃)薄膜的研究。特別適合用于探索固態電解質材料,通過5種元素,按16種不同配比組合。
VTC-5RF五靶頭等離子射頻磁控濺射儀
產品概述:
VTC-5RF五靶頭等離子射頻磁控濺射儀是一款5靶頭的等離子射頻磁控濺射儀,針對于高通量MGI(材料基因組計劃)薄膜的研究。特別適合用于探索固態電解質材料,通過5種元素,按16種不同配比組合。
主要特點:
濺射腔體:
濺射頭&樣品臺:
樣品臺:
真空系統:
進氣:
靶材:
薄膜測厚儀(可選):可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上
凈重:60Kg(不包括泵)
質量認證:CE認證
使用提示:
警告:
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