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小型程序控溫蒸發鍍膜儀

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產品型號GSL-1700X-SPC-2

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更新時間：2024-10-24 09:19:38瀏覽次數：157次

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北京慧龍環科環境儀器有限公司

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產品簡介

小型程序控溫蒸發鍍膜儀更新時間：2020-01-07產品型號：GSL-1700X-SPC-2廠商性質：代理商產品品牌：合肥科晶產品廠地：國外訪問次數：221GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發鍍膜儀可以設定程序

詳細介紹

小型程序控溫蒸發鍍膜儀

更新時間：2020-01-07
產品型號：GSL-1700X-SPC-2
廠商性質：代理商
產品品牌：合肥科晶
產品廠地：國外
訪問次數：221

GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發鍍膜儀可以設定程序，精確控制溫度200ºC~1500ºC（或1200ºC~1700ºC），樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發鍍膜儀

產品概述：

GSL-1700X-SPC-2是一款小型臺式程序控溫蒸發鍍膜儀，可以設定程序，精確控制溫度200ºC~1500ºC（或者1200ºC~1700ºC），樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

結構&特點：

真空腔體為直徑6英寸的石英腔體，便于清潔和放入樣品
安裝有一個2英寸的樣品臺，并且樣品臺可以旋轉，使所制薄膜更加均勻
采用鎢絲籃作為發熱源，高溫度可達到1500℃，并且配用氧化鋁舟，可裝入樣品
精確控溫：可設置30段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃
氣體流量端口和閥門內置用于腔室凈化和CVD可能性

基本參數：

溫度：高1500℃（1200℃以上＜1h）
建議升溫速率：≤20℃/ min（需根據工藝調整）
熱偶：B型或者S型熱偶
電源：AC220V，50Hz
大：6KW

溫控及加熱源：采用鎢絲籃作為發熱源，并且配有的氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測量和控制

采用S型熱電偶（工作溫度為200℃-1500℃）
可選B型熱電偶（工作溫度為1200℃-1700℃）
安裝有一個數顯的溫度控制器：可設置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1ºC（如圖2）
溫度控制器的時間設置以秒為單位，建議將升溫/降溫速率限制在1200ºC以下0.3ºC/s（20ºC/ min），在1200 - 1500ºC限制到0.15ºC/s（10ºC/min）

儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝

樣品臺：

儀器頂部安裝有樣品臺，直徑為Φ50mm，并設置有擋板，方便控制蒸發鍍膜時間
樣品臺可旋轉，增加鍍膜均勻性
樣品臺和蒸發源之間的距離可以調節

進氣口：

進氣接口為1/4NPS，可向真空腔體中通入惰性氣體，對腔體進行清洗，也可通入反應氣體，進行反應蒸發鍍膜
進氣口安裝有一針閥，用于調節進氣流量
程序控溫型四坩堝蒸發鍍膜儀-GSL-1700X-EV4
儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝，并用戶可額外選購鎢絲籃及氧化鋁坩堝

真空計（可選）：可選購一數顯防腐真空計，測量范圍為：3.8x10-5-1125Torr

膜厚檢測儀（可選）：

可在本公司選購精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在濺射儀上，可實時監測薄膜的厚度，分辨率為0.10 Å
LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關數據
同時可選購反射光譜薄膜測厚儀--TFMS-LD

真空系統：

設備上有一KF25接口用于連接真空泵
采用渦旋分子泵真空可達1.0E-5Torr，極限真空度可達4.0E-6Torr
雙極旋片真空泵或干泵，可使儀器真空腔體的真空度達到10-2Torr
真空度達到10-2torr時，可蒸發一些貴金屬，參考材料金和鉑，也可蒸發一些有機材料，可選購數顯防腐真空計PCG-554(測量范圍3.8x10-5 to 1125 Torr.)
高真空度可達1.0E-5Torr（采用渦旋分子泵），此時可蒸發對氧敏感的材料，參考材料Al. Mg, Li，分子泵上帶有復合真空計
（高可測量真空度為1.0E-7Torr）
可在本公司選購各種真空泵和真空計
可選購一個冷真空阱，以避免真空泵造成污染

外形尺寸：490mm*330mm*560mm

質量認證：所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。

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