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深圳眾裕康科技有限公司
JIMA RT RC-04分辨率測試卡是一種用于設置和測試微焦 X 射線系統的光刻生產的測試模式。它支持 0.1 µm 和 10 µm 之間的分辨率,對應于 0.2 µm 和 20 µm 之間的焦斑尺寸。不同距離的線束應用于硅載體
每個測試圖案由 8 條線組成,T 形布局
吸收材料:鎢,厚度>=650nm
保護膜:PET膜25μm(含粘合劑)
硅基:15 µm +/- 1 µm(厚度)
外殼尺寸:40 x 30 x 5 毫米(寬 x 高 x 深)
芯片尺寸:5 x 5 x 0.06mm(寬 x 高 x 深)
精度模式: 公差: +/- 10%
適用范圍工作溫度:10°C至70°C
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