低溫等離子凈化設備又稱低溫等離子凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、 板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

低溫等離子凈化設備采用了吸附-分解-碳化 離心式抽風安裝新工藝技術設計,采用標準模塊設計等優點,是一種干法處理廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術，無需處理原料，無需專人負責，不產生二次污染，換及維護保養方便。

低溫等離子凈化設備主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質齒板放電裝置，頂部放電形式產生高濃度離子。等離子體是一種聚集態物質，其所擁有電子能在毫秒級的時間內，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發生一系列分化裂解反應，產生高濃度、、活性自由基和各種電子、離子等，在與機廢氣中的分子碰撞時會發生一系列基元物化反應，并在反應過程中產生多種活性自由基和生態氧，即臭氧分解而產生的原子氧。

低溫等離子凈化設備的特點：

1、處理效果好，在額定處理風量小，去除率達95%以上，顆粒物去除率達95%以上。

2、二次油回收量大、純度高，可在短期內收回設備投資。

3、性能高，設備帶有完善的電氣保護功能。

4、模塊式結構、多電源控制，在部分電源停止工作的情況下不影響設備使用。

5、容易清洗維護，只需打開設備檢修門取出電場浸泡沖洗就可以。

6、具有放電跳停、電源過載保護和變壓器過溫保護、設備。

7、圓筒蜂巢電場，能使設備具有除油霧效果。

低溫等離子凈化設備應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態污染物治理技術應用來說是兩個非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術能應用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限。而低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，低溫等離子設備其應用廣泛不言而喻。等離子體技術工藝簡單。吸附法要考慮吸附劑的定期換，脫附時還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度；生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。而低溫等離子體技術則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，低溫等離子設備并可同時混合污染物(有些情況還具有協同作用)，不會產生二次污染等。就經濟可行性來說，低溫等離子體反應裝置本身系統構成就單一緊湊，在運行費用方面，微觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，低溫等離子設備所以不僅能量利用率高，而且使設備維護費用也很低。

低溫等離子凈化設備是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子凈化器和技術是一個集物理學、化學、生物學和環境于一體的交叉綜合性電子化學技術，有很容易使污染物分子分解且處理能耗低等特點。低溫等離子凈化設備已經還廣泛的應用于環保設備、包裝、紡織、塑料制品、汽車制造、環境保護、電子設備制造、家電制造、手機制造、計算機制造、生物材料、衛生材料、器皿、、石油 氣管道、供暖管道、化工子、半導體、航空航天等行業中。