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真空爐爐體外部容易漏氣的位置有：爐門密封、主閥閥桿密封、氣動球閥閥桿密封、放氣閥閥芯密封、防爆閥閥芯密封、預(yù)抽閥閥桿密封、熱電偶密封、加熱電極密封等。真空爐體內(nèi)壁外表放氣。真空爐室夾層（包括爐門夾層）及氣體冷卻系統(tǒng)的水管漏水。預(yù)抽閥的閥體內(nèi)部漏氣，充氣組閥中充氣閥（高真空氣動碟閥）、補氣閥、分壓組閥（減壓閥、微調(diào)閥、電磁閥）內(nèi)部漏氣。

真空爐漏氣毛病維修的關(guān)鍵，是看能否精確地判別出毛病點（漏氣位置），檢查辦法如下：依照壓升率測試辦法停止壓升率檢測后，假如真空爐爐膛內(nèi)的真空度不斷降落，且管路真空度堅持不降低，闡明真空爐爐膛有漏氣點。此時，應(yīng)該用氦質(zhì)譜檢漏儀對真空爐爐膛可能存在漏氣點的位置停止檢漏，著重檢查加熱電極、熱電偶裝置孔和熱電偶自身、氣體銜接法蘭和充氣閥門、爐門、壓力表和壓力傳感器銜接處、真空規(guī)管銜接處等與外界有接口的；

關(guān)于真空氣淬爐，還應(yīng)檢查熱交流器有無走漏，通常內(nèi)部循環(huán)設(shè)備的熱交流器在設(shè)備的內(nèi)部，難以檢查，能夠應(yīng)用熱交流器冷卻水管的接口通入氦氣的辦法檢漏。假如真空管路上的真空度很快降落，且真空室真空度堅持較好或者略有進(jìn)步，則應(yīng)該對真空管路和真空泵系統(tǒng)停止檢漏。假如真空管路和真空室真空度都不斷降低，還應(yīng)檢查真空閥。